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橢偏儀

  • 制造廠商:SOPRA
  • 購置日期:2002-06-24
  • 型號:GES5FTIR
  • 生產(chǎn)國別:美國
  • 儀器類別:工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
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  • 杭州衢州溫州臺州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
  • 合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情
  • 利用激光光源發(fā)射出單色光和紅外線,經(jīng)起偏器后變成偏振光,在樣品表面反射后,光的振幅和位相發(fā)生變化,由此來測量Si襯底上薄膜的厚度。

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  • 1. 可見光分光計(jì)(UV-Visible)
    焦距:750mm;標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍:210-900nm;離差為550nm:0.45nm/mm;波長準(zhǔn)確度0.04nm到313nm;在10nm的放射光下,偏離光小于0.01%。2. 近紅外項(xiàng)目(NIR 3 OPTION)
    能借助分光鏡完成測量,能測的近紅外轉(zhuǎn)換光譜范圍從0.9微米到2.0微米;利用電子學(xué)和光學(xué)插件模塊對近紅外測量進(jìn)行支持。3. 紅外變角度傅立葉變換橢偏法(FT-IRSE OPTION)光譜范圍:1.44微米到17微米;光譜精確性:±0.2cm-1。

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中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機(jī)構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個(gè)重大項(xiàng)目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新,加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

資質(zhì)能力:

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

填寫信息直接預(yù)約

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