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微流控芯片制備濕法刻蝕設(shè)備

  • 制造廠商：沈陽芯源微電子有限公司
  • 購置日期：2016-09-16
  • 型號：KS-M200-1E
  • 生產(chǎn)國別：中華人民共和國
  • 儀器類別：工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址：上海市

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  • 儀器詳情

  • 本設(shè)備需實(shí)現(xiàn)200mm方片基板的刻蝕、清洗，實(shí)現(xiàn)高精度線寬控制、大寬長比、高均勻性側(cè)壁斷面控制等多方面性能要求。

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 刻蝕均勻性指標(biāo)：刻蝕ITO≤a±3%，刻蝕Mo≤a±5%，初始均勻性為a。

  • 電子與通信技術(shù),工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科

  • 用于金屬材料刻蝕

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 1400

  • 100

上海大學(xué)

機(jī)構(gòu)介紹: 上海大學(xué)是上海市人民政府舉辦的綜合性大學(xué)，是“九五”、“十五”期間國家“211工程”重點(diǎn)建設(shè)高校，以本科教育為基礎(chǔ)和主體，重點(diǎn)發(fā)展研究生教育，積極發(fā)展留學(xué)生教育。擁有理學(xué)、力學(xué)、文學(xué)、歷史學(xué)、哲學(xué)、法學(xué)、經(jīng)濟(jì)學(xué)、管理學(xué)等8個(gè)學(xué)科門類。以國家級和上海市重點(diǎn)學(xué)科為支持點(diǎn)，以博士學(xué)位學(xué)科點(diǎn)為基本面，搭建布局和結(jié)構(gòu)比較合理的學(xué)科平臺。不斷更新學(xué)科內(nèi)容，為改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)、開拓新型產(chǎn)業(yè)、促進(jìn)社會文化進(jìn)步提供有力的科技支持和人才保障。

資質(zhì)能力：

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

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