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感應(yīng)耦合等離子刻蝕設(shè)備

  • 制造廠商:SENTECH
  • 購置日期:暫無信息
  • 型號(hào):SI500D
  • 生產(chǎn)國別:德國
  • 儀器類別:工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
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  • 儀器詳情
  • 該設(shè)備是ICP-PECVD設(shè)備,用于在基片上沉積SiOx, SiOxNy或SiNy薄膜。沉積薄膜的厚度、折射率、應(yīng)力可以簡單的、連續(xù)的調(diào)節(jié)。SI500D型號(hào)帶LOADLOCK功能。

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 可以在最大尺寸為200mm的多種晶圓片上的進(jìn)行沉積;適用于室溫至350℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx、SiONx a-Si薄膜的沉積;同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

  • 電子與通信技術(shù)

  • 介質(zhì)膜沉積

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 1467

  • 379

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機(jī)構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺(tái)工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺(tái)”兩個(gè)重大項(xiàng)目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新,加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動(dòng)。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

資質(zhì)能力:

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

填寫信息直接預(yù)約

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