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自動勻膠臺

  • 制造廠商:SUSS MicroTec
  • 購置日期:暫無信息
  • 型號:RCD8
  • 生產(chǎn)國別:德國
  • 儀器類別:工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
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  • 杭州衢州溫州臺州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
  • 合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情
  • 該設(shè)備具有多種類型的夾具以及多樣化的配置,能夠?qū)崿F(xiàn)各種襯底材料和形狀的光刻膠涂覆和顯影。該平臺通過裝配各種成熟的滴膠管道和泵,可以處理粘滯度小于1cps到55000cps的光刻膠。

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 最高轉(zhuǎn)速:10000 rpm ±1 rpm(帶安全罩),特殊要求 12000 rpm;旋轉(zhuǎn)加速度:1 – 7000 rpm/s;碗腔材質(zhì):鍍鎳鋁;點(diǎn)膠臂:配備最多2條光刻膠線,每條最多2條溶劑線(可選:電動注射器)。

  • 電子與通信技術(shù)

  • 勻膠

  • 暫無信息

  • 暫無信息

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中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機(jī)構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項(xiàng)目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新,加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

資質(zhì)能力:

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

填寫信息直接預(yù)約

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