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高真空金屬膜沉積系統(tǒng)

  • 制造廠(chǎng)商:Kurt J. Lesker Co.
  • 購(gòu)置日期:暫無(wú)信息
  • 型號(hào):PVD 75
  • 生產(chǎn)國(guó)別:美國(guó)
  • 儀器類(lèi)別:工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
  • 南京宿遷淮安徐州泰州鎮(zhèn)江揚(yáng)州鹽成常州無(wú)錫南通蘇州連云港
  • 杭州衢州溫州臺(tái)州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
  • 合肥毫州六安宿州阜陽(yáng)黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情
  • 該設(shè)備單步工藝可連續(xù)蒸鍍3種金屬及氧化物材料,有DC及RF模式可選。利用電子束加熱蒸發(fā)材料,在基片表面制備高純薄膜。可用于Pt、Au、Ti、Cr、Al、Ag、Ni、Ge、W等多種金屬鍍膜,也可用于SiO2、ITO等氧化物及金屬氧化物半導(dǎo)體材料的沉積,具有沉積材料致密性強(qiáng)、膜厚控制精度高的優(yōu)點(diǎn)。

  • 暫無(wú)信息

  • 暫無(wú)信息

  • 成膜均勻性:優(yōu)于±5%;電子槍電源功率:5Kw;樣品臺(tái):兼容最大至150mm直徑基片及不規(guī)則碎片樣品夾具;坩堝:8個(gè),12cc;樣品轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速:最大20rpm;蒸發(fā)源與基片距離:約23英寸。

  • 電子與通信技術(shù)

  • 高真空金屬沉積

  • 暫無(wú)信息

  • 暫無(wú)信息

  • 968

  • 452

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機(jī)構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所,是中國(guó)科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機(jī)械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無(wú)線(xiàn)信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國(guó)家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺(tái)工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺(tái)”兩個(gè)重大項(xiàng)目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強(qiáng)原始創(chuàng)新,加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開(kāi)展集成微光機(jī)電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動(dòng)。中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

資質(zhì)能力:

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

填寫(xiě)信息直接預(yù)約

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