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無掩膜直寫光刻機

  • 制造廠商:Heidelberg Instruments
  • 購置日期:暫無信息
  • 型號:DWL 66+
  • 生產(chǎn)國別:德國
  • 儀器類別:工藝實驗設(shè)備
  • 安放地址:上海市

跨區(qū)域科技政策:

  • 上海
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  • 合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情
  • 系統(tǒng)具有高度的靈活性, 不僅可在敷圖有光刻膠的任何平面襯底上進行圖形制備,還適用于掩模版加工。具有矢量與光柵掃描曝光兩種模式,可執(zhí)行的文件具有多種文件格式,還可用于三維結(jié)構(gòu)的加工制備。具有背面套刻功能。

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 光源:405nm或375nm的二極管激光器;基板尺寸:變量:3x3mm2至9"x9"(可根據(jù)要求定制);基板厚度:0至12毫米;最大曝光面積:200x200平方毫米;分辨率:150nm;溫控流箱:溫度穩(wěn)定性±0.1°,ISO 4環(huán)境;實時自動對焦:光學(xué)自動對焦或氣壓計自動對焦;自動對焦補償范圍:80微米;標準或高級灰度模式:分別為128/255灰度;矢量模式:允許免拼接線直寫;背面對齊(可選):允許將曝光對準基板背面的結(jié)構(gòu)。

  • 電子與通信技術(shù)

  • 制版

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 2853

  • 456

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

機構(gòu)介紹:

上??茖W(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所,是中國科學(xué)院所屬以信息微系統(tǒng)技術(shù)的研究與開發(fā)為主的高技術(shù)研究所,主要研究領(lǐng)域包括微電子機械系統(tǒng)、傳感器技術(shù)、無線信息網(wǎng)絡(luò)、射頻與微波模塊、光電子器件、生物芯片、新型電池技術(shù)等。該所以國家需求為導(dǎo)向,圍繞“電子科學(xué)與技術(shù)”、“信息與通信工程”兩大新的學(xué)科方向,利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子平臺工藝技術(shù)為支撐,以“小衛(wèi)星、微系統(tǒng)技術(shù)平臺”兩個重大項目為依托,以系統(tǒng)帶器件、器件帶材料、加強原始創(chuàng)新,加強關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新與集成研究,開展集成微光機電系統(tǒng)、天地一體化通信技術(shù)與系統(tǒng),信息功能材料與器件、微型和新型能源技術(shù)與系統(tǒng)等研究活動。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

資質(zhì)能力:

進入機構(gòu)

填寫信息直接預(yù)約

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