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LPCVD(低壓力化學氣相沉積系統(tǒng))

  • 制造廠商：英國Thermco Systems
  • 購置日期：暫無信息
  • 型號：DFS250
  • 生產(chǎn)國別：英國
  • 儀器類別：工藝實驗設備
  • 安放地址：江蘇省

跨區(qū)域科技政策：

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  • 儀器詳情

  • 退火、氧化

  • 暫無信息

  • 暫無信息

  • 1、常壓退火，溫度控制顯示精度全量程0.1°C；爐體外部三點控溫，各個SPIKE測量點都采用雙熱電偶，在一只熱電偶斷路時另一只能繼續(xù)完成工藝；工藝器期間，爐體內(nèi)部使用profile精確控溫模式。 2、程序控制單元，氣體/壓力控制精度±0.5%；

  • 電子與通信技術

  • 100片6英寸、100片四英寸基片或100片兩英寸基片退火氧化，工藝氣體N2/O2。

  • 285nm?SiO2熱氧化

  • 300元/小時，通氧氣時外加300元/小時

  • 暫無信息

  • 暫無信息

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

機構介紹: 暫無信息

資質能力：

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