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LPCVD(低壓力化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))

  • 制造廠商：英國(guó)Thermco Systems
  • 購(gòu)置日期：暫無(wú)信息
  • 型號(hào)：DFS250
  • 生產(chǎn)國(guó)別：英國(guó)
  • 儀器類(lèi)別：工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
  • 安放地址：江蘇省

跨區(qū)域科技政策：

  • 上海
  • 南京宿遷淮安徐州泰州鎮(zhèn)江揚(yáng)州鹽成常州無(wú)錫南通蘇州連云港
  • 杭州衢州溫州臺(tái)州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
  • 合肥毫州六安宿州阜陽(yáng)黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
  • 儀器詳情

  • 退火、氧化

  • 暫無(wú)信息

  • 暫無(wú)信息

  • 1、常壓退火，溫度控制顯示精度全量程0.1°C；爐體外部三點(diǎn)控溫，各個(gè)SPIKE測(cè)量點(diǎn)都采用雙熱電偶，在一只熱電偶斷路時(shí)另一只能繼續(xù)完成工藝；工藝器期間，爐體內(nèi)部使用profile精確控溫模式。 2、程序控制單元，氣體/壓力控制精度±0.5%；

  • 電子與通信技術(shù)

  • 100片6英寸、100片四英寸基片或100片兩英寸基片退火氧化，工藝氣體N2/O2。

  • 285nm?SiO2熱氧化

  • 300元/小時(shí)，通氧氣時(shí)外加300元/小時(shí)

  • 暫無(wú)信息

  • 暫無(wú)信息

中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所

機(jī)構(gòu)介紹: 暫無(wú)信息

資質(zhì)能力：

進(jìn)入機(jī)構(gòu)

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